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これは非常に大きな問題です:日本の10nmナノインプリントブレイクスルーです。
日本は10nmの機能に到達し、EUVの支配に挑戦できるリソグラフィー技術を開発したばかりです...しかもエネルギーは10分の1しか使いません。
大日本印刷(DNP)は、1.4nmクラスのロジック半導体向けの10nmナノイムプリントリゾグラフィー(NIL)テンプレートを開発しました。
「極端な紫外線でウェハーを爆破する代わりに、この方法は物理的に超微細なパターンを刻印し、エネルギー消費をEUVのほぼ10分の1に削減します。」
「DNPの新しいNILテンプレートは10nmの線幅に達し、システムサイズと電力需要を削減し、EUVの膨大なコストとボトルネックを回避するのに役立つ可能性があります。顧客評価は2026年に開始され、量産は2027年に予定されています。」
私たちは最速のサイテック加速時代に生きています。

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